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净化车间设计

 

空气洁净度等级

气流流型

平均风速(m/s)

换气次数(次/h)

1-3

单向流

0.3-0.5

 

4、5

单向流

0.2-0.4

 

6

非单向流

 

50-60

7

非单向流

 

15-25

8、9

非单向流

 

10-15

注:1.换气次数适用于层高小于4.0m的洁净室;

2.应根据室内人员、工艺设备的布置以及物料传输等情况采用上、下限值。

 

 

 

空气洁净度等级(N)

大于或等于要求粒径的最大浓度限值(pc/m³)

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

1um

5um

1

10

2

2

100

24

10

4

3

1000

237

102

35

8

4

10000

2370

1020

352

83

5

100000

23700

10200

3520

832

29

6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

7

352000

83200

2930

8

3520000

832000

29300

9

35200000

8320000

293000

注:按不同的测量方法,各等级水平的浓度数据的有效有效数字不应超过3位。